[이슈키워드] EUV 노광장비 공급사 'ASML'
경제타임스 김은국 기자 | 세계 유일의 EUV(Extreme Ultraviolet) 노광(露光, photolithography) 장비 공급사 ASML(Advanced Semiconductor Materials Lithography)은 전 세계 반도체 제조 공정의 ‘목’을 쥐고 있는 핵심 기업으로 평가된다. 네덜란드에 본사를 둔 ASML은 극자외선 파장을 활용해 미세 회로를 웨이퍼 위에 새기는 첨단 노광장비를 독점 공급하고 있으며, 이 기술 없이는 5나노(㎚) 이하의 초미세 공정 반도체 생산이 사실상 불가능하다. "露(이슬 노) + 光(빛 광)"은 빛에 노출시켜 회로 패턴을 새긴다는 의미다. 반도체 산업에서는 감광막(PR)에 빛을 노출하는 공정을 포토리소그래피(Photolithography)라고 부른다. ASML의 장비는 한 대 가격이 최대 3,000억 원에 달하고, 전 세계 생산량도 연간 수십 대 수준에 불과할 만큼 고도의 기술력과 제조 난도가 요구된다. 특히 EUV 노광 장비는 13.5나노미터(nm) 파장의 빛을 활용해서 기존 DUV(Deep Ultraviolet) 장비로는 구현할 수 없는 초미세 선폭을 구현해 차세대 AI·고성능 반도체 제조의 필수 인프
